数据显示，2026年一季度科创板半导体材料设备ETF份额较年初接近翻番，区间净流入额近60亿元，截至目前3只上市产品总体规模已超百亿。今年以来沪市陆续上市5只科创芯片设计主题ETF，共同推动资金加速汇聚国家自主创新产业赛道。（第一财经记者 黄思瑜）
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